レーザー洗浄技術は、レーザー技術を工学分野に応用した成功例です。その基本原理は、レーザーの高エネルギー密度を利用して、レーザーをワーク基板に付着した汚染物質と相互作用させ、間接的な熱膨張、化学反応、ガス揮発などの形でワーク基板から分離することです。レーザー洗浄技術は、高効率、環境保護、省エネなどの特徴があり、タイヤ金型洗浄、航空機のボディ塗装除去、文化遺産の修復などに成功裏に応用されています。
従来の洗浄技術には、機械的摩擦洗浄（サンドブラスト洗浄、高圧水ガン洗浄など）、化学腐食洗浄、超音波洗浄、ドライアイス洗浄などがあり、これらの洗浄技術はさまざまな業界で広く使用されています。たとえば、サンドブラスト洗浄では、異なる硬度の研磨剤を選択することで、金属の刺繍の汚れ、金属表面のバリ、回路基板表面の三層塗装を洗浄できます。化学腐食洗浄技術は、機器表面の油汚れ洗浄、ボイラースケール洗浄、石油パイプライン洗浄などに広く使用されています。これらの洗浄技術は開発され成熟していますが、サンドブラスト洗浄は処理面を傷つけやすく、化学腐食洗浄は環境汚染を引き起こし、不適切な処理は洗浄面に腐食を引き起こすなど、まだいくつかの問題があります。
レーザー洗浄技術の出現は、洗浄技術の革命です。レーザー洗浄技術は、レーザーエネルギー密度、高精度、高効率伝導の利点を活用し、洗浄効率、洗浄精度、洗浄位置の点で従来の洗浄技術に比べて明らかな利点があります。化学腐食洗浄などの洗浄技術による環境汚染を効果的に回避でき、基板を損傷しません。
レーザー洗浄原理
では、レーザークリーニングとは何でしょうか? レーザークリーニングとは、レーザービームを照射して固体 (または液体) 表面から材料を除去するプロセスです。レーザーフラックスが低い場合、材料は吸収されたレーザーエネルギーによって加熱され、蒸発するか、または上昇します。光アブレーションの場合。光アブレーションに使用されるレーザーは約 200nm です。レーザーエネルギーの吸収深度と単一のレーザーパルスによって除去される材料の量は、材料の光学特性、およびレーザー波長とパルス長によって異なります。レーザーパルスごとにターゲットから除去される総質量は、通常、アブレーション率と呼ばれます。レーザービームのスキャン速度やスキャンラインのカバレッジなどのレーザー放射特性は、アブレーションプロセスに大きな影響を与える可能性があります。
